[实用新型]一种激光曝光单元

摘要

本实用新型涉及一种激光曝光单元，包括壳体，壳体前部设有激光出口，底壳内于中部区域由后至前设有第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜，第二扫描场镜的右方设有共用反射镜，共用反射镜的右侧设有所述的第三激光器，与第三激光器配合的第三扩束镜；底壳内于中部区域的前方、激光出口的后方设有第四扫描场镜，壳体内于左侧区域设有第一激光器、第二激光器、第一扩束镜、第二扩束镜、第一反射镜Ⅰ、第二反射镜Ⅰ，壳体内于右侧区域设有第一柱面镜总成、第二柱面镜总成、第三柱面镜总成、第一反射镜Ⅱ、第二反射镜Ⅱ、第三反射镜，左侧区域与右侧区域之间设有多边转镜。这种结构布局，使得壳体结构紧凑，减小体积。