[实用新型]一种激光曝光单元有效

专利信息
申请号: 202022694958.9 申请日: 2020-11-18
公开(公告)号: CN213240789U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 张文杰;张威东;兰振利;杨芳 申请(专利权)人: 郑州易邦微光电科技有限公司
主分类号: G03B27/16 分类号: G03B27/16;G03B27/54;G03B27/14;G03B27/52
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 王春丽
地址: 450000 河南省郑州市高新技*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 激光 曝光 单元
【权利要求书】:

1.一种激光曝光单元,其特征在于:包括壳体,壳体前部设有激光出口,壳体内设有第一激光器、第二激光器、第三激光器,壳体包括底壳及位于底壳上侧的盖板,底壳内于中部区域由后至前设有第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜,第二扫描场镜的右方设有共用反射镜,共用反射镜的右侧设有所述的第三激光器,与第三激光器配合的第三扩束镜;底壳内于中部区域的前方、激光出口的后方设有第四扫描场镜,壳体内于左侧区域设有所述第一激光器、所述第二激光器、第一扩束镜、第二扩束镜、第一反射镜Ⅰ、第二反射镜Ⅰ,壳体内于右侧区域设有第一柱面镜总成、第二柱面镜总成、第三柱面镜总成、第一反射镜Ⅱ、第二反射镜Ⅱ、第三反射镜,所述左侧区域与右侧区域之间设有多边转镜,多边转镜位于第一扫描场镜的后方;

第一激光器发射的激光依次经第一扩束镜、第一反射镜Ⅰ、第一反射镜Ⅱ、第一柱面镜总成、共用反射镜、多边转镜、第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜、第四扫描场镜;

第二激光器发射的激光依次经第二扩束镜、第二反射镜Ⅰ、第二反射镜Ⅱ、第二柱面镜总成、共用反射镜、多边转镜、第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜、第四扫描场镜;

第三激光器发射的激光依次经第三扩束镜、第三反射镜、第三柱面镜总成、共用反射镜、多边转镜、第一扫描场镜、第二扫描场镜、第三扫描场镜、第四扫描场镜;

第一激光器、第二激光器、第三激光器中的一种为红激光器,另两种分别为蓝激光器、绿激光器。

2.根据权利要求1所述的一种激光曝光单元,其特征在于:所述底壳的主体呈矩形,主体前部向前凸出形成前凸部,激光出口设置在前凸部处,激光出口呈长条形,底壳的右下角向内收缩呈台阶状。

3.根据权利要求1所述的一种激光曝光单元,其特征在于:所述底壳的右侧设有线束出口。

4.根据权利要求1所述的一种激光曝光单元,其特征在于:所述底壳前部区域设有激光束扫描检测反射镜、激光束扫描检测传感器,激光束扫描检测传感器、激光束扫描检测反射镜左右间隔设置,且均位于第四扫描场镜的后方,激光束扫描检测传感器位于检测区,检测区设有围挡,围挡设有开口以接收经激光束扫描检测反射镜发射的激光束。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种激光曝光单元,其特征在于:所述底壳采用压铸铝合金制成。

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