[实用新型]一种半导体加工设备有效
| 申请号: | 202022660254.X | 申请日: | 2020-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN213340290U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 韩印 | 申请(专利权)人: | 深圳市翰肯科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/67;H01L21/68;F21V33/00;F21W131/403 |
| 代理公司: | 深圳知帮办专利代理有限公司 44682 | 代理人: | 刘瑞芳 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝安区燕*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种半导体加工设备,包括移动轮、控制面板、焊接头、照明灯、陶瓷加热板、引风机、第一液压缸和第二液压缸,所述移动轮位于整个装置的底端,所述移动轮上端设有主体,所述主体上设有所述控制面板,所述主体上设有保护盖,所述主体上设有工作台,所述滑块上设有第一滑杆,所述主体内侧设有所述陶瓷加热板,所述陶瓷加热板一侧设有所述照明灯,所述陶瓷加热板另一侧设有所述引风机。本实用新型可以根据需要调节主体内的温度,加工过程中产生杂质颗粒、烟尘等污染物,通过引风机将这些杂物吸出,保证加工过程中的整洁,提升半导体元件的加工效率,主体内侧设有的照明灯,可以提供照明,保证半导体元件在加工过程中的明亮度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 加工 设备 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





