[实用新型]一种晶圆背面磨床的物料定位装置有效
| 申请号： | 202022649979.9 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN213917721U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张王锋;吴丰杰;张佳斌;王涛;赵文豪 | 申请（专利权）人： | 天通日进精密技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/00 | 分类号： | B24B41/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 金亚丁 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆背面磨床的物料定位装置，包括吸附盘、安装壳体、旋转机构以及定中心机构，所述安装壳体包括底座、导向板以及安装板，所述导向板上呈环形阵列的设置有至少三个导向孔，所述导向孔在其延伸方向上均穿过同一个圆心；所述旋转机构包括驱动组件以及传动组件，所述传动组件设置在安装壳体内且位于驱动组件一侧，所述驱动组件带动传动组件转动；至少三个所述定中心机构呈圆形阵列分布在传动组件上，所述定中心机构包括相连接的连接组件以及滑动组件，所述连接组件与传动组件相连接，所述滑动组件穿过导向孔且可沿导向孔运动。本实用新型对晶圆进行定中心操作，提高精度以及产品的磨削质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背面 磨床 物料 定位 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天通日进精密技术有限公司，未经天通日进精密技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022649979.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：摇椅渐变力值丝和正畸组件
- 下一篇：一种光缆用剪切效率高的光缆剪切装置
