[实用新型]一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具有效
| 申请号： | 202022639375.6 | 申请日： | 2020-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN213538090U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐威 | 申请（专利权）人： | 东莞市光纳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 杨文科 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具，其包括相互配合的上夹板以及下夹板，所述上夹板上设置有磁铁块，所述磁铁块用于将上夹板吸附于镀膜机上，所述磁铁块与所述上夹板之间设置有固定件。本申请具有提高工件镀膜质量的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 牢靠 真空 溅射 镀膜 用治具 | ||
【主权项】：
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