[实用新型]一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具

说明书

本申请涉及溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具，其包括相互配合的上夹板以及下夹板，所述上夹板上设置有磁铁块，所述磁铁块用于将上夹板吸附于镀膜机上，所述磁铁块与所述上夹板之间设置有固定件。本申请具有提高工件镀膜质量的效果。

技术领域

本申请涉及溅射镀膜的技术领域，尤其是涉及一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具。

背景技术

真空溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向轰击工件表面，使工件近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出工件表面的工艺，在工件表面形成镀层。治具是作为协助控制位置或动作的一种工具，在真空溅射镀膜中一般用作固定工件。

现有中的真空溅射镀膜用治具一般包括两个夹板，两个夹板将工件夹在一起，然后将治具放置在镀膜机上，两个夹板上均会设置有视窗区供镀膜机对工件进行镀膜，但是有时在镀膜时，工件在镀膜机上容易发生滑移，从而造成工件上镀膜的位置发生偏移，从而造成镀膜质量的降低，故需要改进。

实用新型内容

为了提高镀膜质量，本申请提供一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具。

本申请提供的一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具采用如下的技术方案：

一种固定牢靠的真空溅射镀膜用治具，包括相互配合的上夹板以及下夹板，所述上夹板上设置有磁铁块，所述磁铁块用于将上夹板吸附于镀膜机上，所述磁铁块与所述上夹板之间设置有固定件。

通过采用上述技术方案，操作人员将工件放置在上夹板与下夹板之间，然后操作人员将工件输送到下一工序，将工件放置在镀膜机上，上夹板上的磁铁块将上夹板吸附在镀膜机上，从而使得工件不易发生偏移，提高了镀膜质量。

优选的，所述上夹板上的磁铁块设置为多个。

通过采用上述技术方案，多个磁铁块能增大上夹板在镀膜机上的吸附力，进一步增强工件的稳定性。

优选的，多块所述磁铁块上设置有护套。

通过采用上述技术方案由于在镀膜时，磁铁块上会容易被镀上膜层，无法处理掉，磁铁块只能报废处理，极大的浪费生产成本，而护套能对磁铁块起到保护作用，提高磁铁的使用寿命。

优选的，所述固定件包括设置于所述上夹板与所述护套之间的粘结胶层。

通过采用上述技术方案，粘结胶层能方便的将护套粘结固定在上夹板上。

优选的，相邻两个所述磁铁块之间设置有间隙。

通过采用上述技术方案，单个磁铁块在相互吸引时，磁铁块之间极易碰撞出火花，导致磁铁块崩碎，磁铁块屑极易碰到工件表面导致工件不良，通过设置间隙，使得磁铁块之间不容易发生碰撞。

优选的，所述上夹板上设置有用于固定工件的限位组件，所述限位组件包括沿靠近或远离工件的方向设置于所述上夹板上的多个滑槽、滑移连接于所述滑槽内的滑块、以及转动设置于所述上夹板上的螺杆，所述滑块抵接于工件的侧壁，所述螺杆螺纹连接于所述滑块，所述螺杆用于驱动所述滑块沿靠近或远离工件。

通过采用上述技术方案，操作人员将工件放置在上夹板与下夹板之间，然后转动螺杆，螺杆驱动滑块往靠近工件的方向移动，直至夹持块抵接于工件的侧边，这时，即可将工件固定住。

优选的，所述螺杆的一端设置有手轮。

通过采用上述技术方案，操作人员通过握持住手轮，能方便的转动螺杆。