[实用新型]一种半导体芯片制造离子注入机

摘要

本实用新型提供一种半导体芯片制造离子注入机，涉及半导体芯片制造离子注入技术领域。该半导体芯片离子注入机，包括金属外壳，金属外壳底部固定连接有移动装置，金属外壳一侧固定连接有推杆，金属外壳顶部靠近推杆一端贯穿固定连接有进气口，进气口底部固定连接有气体箱，气体箱底部固定连接有支撑板，气体箱底部固定连接有输气管。该半导体芯片离子注入机，经过离子筛选箱筛选废弃的离子通过输入管，经过离子加速箱加速，再一次进入离子筛选箱，进行筛选，直至离子全部通过离子筛选箱，移动装置由减震装置与车轮构成，可以方便移动离子注入机，并且不会损伤硅片放置箱内部的硅片，解决直接废弃不合格离子束和不方便移动问题。