[实用新型]一种飞秒激光锥孔加工系统有效
| 申请号： | 202022630051.6 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN213998253U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 韩坤;解国良;蔡鑫;褚兴荣;韩雪 | 申请（专利权）人： | 宁波齐云新材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/384 | 分类号： | B23K26/384;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京嘉途睿知识产权代理事务所(普通合伙) 11793 | 代理人： | 彭成 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种飞秒激光锥孔加工系统，包括飞秒激光器、准直透镜、反射镜、平板玻璃、聚焦镜和样品台，平板玻璃安装在旋转倾斜度调整座上，旋转倾斜度调整座垂直于入射光设置，使得平板玻璃可以在绕着入射光的轴线旋转，同时旋转倾斜度调整座可以调整平板玻璃与入射光线的夹角的大小，使得光入射到平板玻璃后出射时与入射光平行平移一段距离。平板玻璃的平移和旋转两者相加使得入射光在聚焦镜的表面上铺满了一个圆形；这个圆形上的每一个点都对应一束入射光，且所有的入射光都汇聚到样品的下表面上，在样品上形成一个锥形体，从而实现样品的锥形孔的加工；如此做使得到达样品表面的光的能量大幅增加，同时克服了振镜无法加工高精度锥形的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 加工 系统 | ||
【主权项】：
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