[实用新型]一种飞秒激光锥孔加工系统

权利要求书

1.一种飞秒激光锥孔加工系统，包括飞秒激光器(1)、准直透镜(2)、反射镜(3)、平板玻璃(4)、聚焦镜(5)和样品台(6)；其特征在于：

飞秒激光器(1)发出的水平激光经过准直透镜(2)进行扩束，扩束后的激光射入反射镜(3)，并经过反射后竖直射入到平板玻璃(4)，经过平板玻璃(4)的折射后射入到聚焦镜(5)，聚焦镜(5)将激光汇聚到水平设置的样品台(6)上的样品上进行加工；

平板玻璃(4)安装在旋转倾斜度调整座上，旋转倾斜度调整座垂直于入射光设置；使得平板玻璃(4)可以在绕着入射光的轴线旋转；同时旋转倾斜度调整座可以调整平板玻璃(4)与入射光线的夹角的大小，使得光入射到平板玻璃(4)后出射时与入射光平行平移一段距离；

旋转倾斜度调整座包括旋转环座(7)、固定夹持器(8)和移动夹持器(9)；旋转环座(7)呈桶型，旋转环座(7)可以绕着垂直于桶的轴线旋转，转速可调；固定夹持器(8)和移动夹持器(9)安装在旋转环座(7)的内表面上，固定夹持器(8)具有一个球铰(10)，球铰(10)的一端固定在旋转环座(7)的内表面，球铰(10)的另一端设置有夹持平板玻璃(4)的第一夹子(11)；

移动夹持器(9)设置在固定夹持器(8)的对侧，且移动夹持器(9)包括设置在平行于旋转环座(7)轴线的轨道和安装在轨道上的滑块(12)，轨道使得滑块(12)可以沿着平行于旋转环座(7)轴线的方向移动，移动由步进电机控制，位移可调；

滑块(12)设置有限位孔，限位孔内设置有连接到平板玻璃(4)的限位球、连接杆(13)和第二夹子(14)，限位球用于限位，使得第二夹子随着滑块的移动而摆动；滑块(12)在轨道上平移时带动限位孔沿着平行于旋转环座(7)的轴线的方向移动，从而使得第二夹子(14)带动平板玻璃(4)的一端沿着平行于旋转环座(7)的轴线方向移动；同时由于另一端的固定夹持器(8)是不动的，因此使得平板玻璃(4)倾斜。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光锥孔加工系统，其特征在于：聚焦镜(5)的焦点位于样品的下表面，且聚焦镜(5)可以上下移动。

3.根据权利要求1所述的飞秒激光锥孔加工系统，其特征在于：第一夹子(11)和第二夹子(14)与平板玻璃(4)的接触为面接触。

4.根据权利要求1所述的飞秒激光锥孔加工系统，其特征在于：飞秒激光器(1)为红外飞秒激光器(1)。

5.根据权利要求1所述的飞秒激光锥孔加工系统，其特征在于：平板玻璃(4)为圆形平板玻璃(4)。

6.根据权利要求5所述的飞秒激光锥孔加工系统，其特征在于：当平板玻璃(4)与旋转环座(7)的轴线垂直时，旋转环座(7)的转轴与圆形平板玻璃(4)的轴线重合，且飞秒激光入射到圆形平板玻璃(4)的圆心。