[实用新型]一种原子力显微镜探针装夹辅助装置有效

专利信息
申请号: 202022614276.2 申请日: 2020-11-12
公开(公告)号: CN214122276U 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 张丽;李天军 申请(专利权)人: 绍兴因特费尔光电科技有限公司
主分类号: G01Q60/38 分类号: G01Q60/38
代理公司: 浙江永鼎律师事务所 33233 代理人: 余文祥
地址: 312000 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,属于原子力显微镜技术领域。它包括具有向内凹陷的存储槽的壳体,所述的存储槽的截面呈矩形,所述的存储槽内设有若干与存储槽滑动连接的探针夹。每个探针夹均能通过探针夹紧机构将一根探针固定在探针储存通道内,通过多个探针入口能一次将多根探针送入至探针储存通道,外接的驱动机构的驱动杆能从最上侧的探针入口伸入,并将最上侧的探针夹内的探针从探针储存通道内顶出,使探针向探针出口运动并转移至探针安装位置,最上侧的探针安装外后,通过驱动机构驱动所有探针夹向上运动至下一个探针夹内的探针储存通道与探针入口以及探针出口相连,以进行下次的换针。
搜索关键词: 一种 原子 显微镜 探针 辅助 装置
【主权项】:
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