[实用新型]一种原子力显微镜探针装夹辅助装置有效
申请号: | 202022614276.2 | 申请日: | 2020-11-12 |
公开(公告)号: | CN214122276U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 张丽;李天军 | 申请(专利权)人: | 绍兴因特费尔光电科技有限公司 |
主分类号: | G01Q60/38 | 分类号: | G01Q60/38 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 余文祥 |
地址: | 312000 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原子 显微镜 探针 辅助 装置 | ||
1.一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,包括具有向内凹陷的存储槽(1)的壳体(2),其特征在于,所述的存储槽(1)的截面呈矩形,所述的存储槽(1)内设有若干与存储槽(1)滑动连接的探针夹(3),所述的探针夹(3)外侧壁与存储槽(1)的内侧壁抵靠,所述的探针夹(3)内水平设置有截面呈圆形的探针储存通道(4),所述的探针储存通道(4)内设有探针夹紧机构(5),所述的壳体(2)的侧壁上侧还设有水平设置的探针出口(6),所述的壳体(2)远离探针出口(6)一侧的侧壁上还设有若干水平设置的探针入口(7),所述的探针入口(7)与探针储存通道(4)相连。
2.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的探针夹紧机构(5)包括前端夹紧组件(8)和后端夹紧组件(9),所述的前端夹紧组件(8)设置在探针储存通道(4)靠近探针出口(6)一侧,所述的后端夹紧组件(9)设置在探针储存通道(4)靠近探针入口(7)一侧。
3.根据权利要求2所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的前端夹紧组件(8)包括两个分别设置在探针储存通道(4)上下侧的夹紧槽(10),所述的夹紧槽(10)内设有夹紧块(11),两个夹紧槽(10)内的夹紧块(11)之间设有夹紧间隙(12),所述的夹紧块(11)和夹紧槽(10)之间还设有可驱动两块夹紧块(11)相互靠拢的弹性件(13),所述的后端夹紧组件(9)的结构与前端夹紧组件(8)的结构相同。
4.根据权利要求3所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的后端夹紧组件(9)内的两个夹紧块(11)之间的夹紧间隙(12)大于前端夹紧组件(8)内的两个夹紧块(11)之间的夹紧间隙(12)。
5.根据权利要求3所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的夹紧槽(10)两侧还设有两个截面呈矩形的限位槽(14),两个限位槽(14)沿夹紧槽(10)的中心线对称设置,所述的夹紧块(11)两侧还设有两个插入至限位槽(14)内的限位块(15)。
6.根据权利要求3或4或5所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的弹性件(13)为压缩弹簧。
7.根据权利要求3或4或5所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的夹紧块(11)端部还设有软木垫(16)。
8.根据权利要求1-5任一权利要求所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的存储槽(1)底部还设有探针夹驱动槽(17),所述的探针夹驱动槽(17)沿竖直方向贯穿壳体(2)。
9.根据权利要求1-5任一权利要求所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的探针夹(3)上还设有四个相连呈矩形的定位孔(18),所述的定位孔(18)的截面呈圆形且沿竖直方向贯穿探针夹(3)。
10.根据权利要求1-5任一权利要求所述的一种原子力显微镜探针装夹辅助装置,其特征在于,所述的壳体(2)底部还设有向内凹陷的矩形槽(19),所述的矩形槽(19)内还设有截面呈圆形的顶针槽(20),所述的矩形槽(19)上还通过截面呈环形的磁石(21)可拆卸的连接有顶针(22),所述的顶针(22)插入至顶针槽(20)内且顶针(22)尾部还连有顶针座(23),所述的顶针座(23)为铁板,所述的顶针(22)的外径与探针入口(7)的内径相适配且顶针(22)的长度与探针入口(7)的长度相同。
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