[实用新型]半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具有效
| 申请号： | 202022609406.3 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213841712U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄勤兰;贺贤汉;王成明;蒋立峰 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/18 | 分类号： | F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域。半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于，包括至少三个等间隔角度排布的支撑块；每个支撑块的外侧呈阶梯状；所述支撑块包括至少三个从上至下排布的支撑面，且每个支撑面均相互平行，位于上方的支撑面的纵向投影位于下方的支撑面纵向投影的内侧；所述支撑块的材质是莫来石。本专利通过选取莫来石作为支撑块，便于适用于烘烤温度在范围情况下的高温作业。使用时，将尺寸一致的支撑块按中心辐射方式摆放，等间隔角度摆放，平放于井式烤箱，陶瓷部件按直径从大到小，从下往上摆放，完成高温烘烤。取陶瓷部件时，从上往下分层取出完成烘烤作业的陶瓷部件。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 陶瓷 部件 高温 烘烤 用莫来石 耐高温 | ||
【主权项】：
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