[实用新型]一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备

摘要

本实用新型属于芯片生产设备技术领域，尤其为一种电子产品内置芯片生产用晶圆清洗设备，针对现有的晶圆清洗设备结构复杂，操作繁琐，且在清洗后不能对晶圆进行快速的干燥，从而会对接下来的工序造成影响的问题，现提出如下方案，其包括箱体，所述箱体的底部四角均设置有移动轮，所述箱体的底部内壁一侧设置有清洁箱，所述清洁箱的顶部设置有开口，所述箱体的两侧内壁上滑动安装有同一个支撑杆。本实用新型设计合理，通过搅拌杆、搅拌齿、托板、低速电机等构件之间的相互配合，能够有效的对待清洗的晶圆进行清洗，在鼓风扇叶的作用下对清洗完成晶圆进行快速干燥，使用方便，操作简单。