[实用新型]一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统有效

专利信息
申请号: 202022433973.8 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN213437784U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 孙秋月;张云龙 申请(专利权)人: 德中(天津)技术发展股份有限公司
主分类号: B23K26/046 分类号: B23K26/046;B23K26/70
代理公司: 天津合正知识产权代理有限公司 12229 代理人: 吕琦
地址: 300384 天津市西青*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供了一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统,包括激光器、扩束镜、DOE、振镜、场镜、第一反射镜、光线收集器、物镜和CCD相机,在所述激光器前方依次设置扩束镜、DOE、振镜,所述振镜的另一端连接有场镜,所述场镜的前方设置有第一反射镜,所述第一反射镜的透射光路上设有物镜和与镜头连接的CCD相机,反射光路上设有光线收集器。本实用新型有益效果:通过调整物镜的倍率,可以测量任意大小的焦斑,实用性强;极大降低了DOE的安装难度,降低设备调节工作量,改善加工质量;结构简单、性价比高,适合工业大面积推广,巨有很大的市场前景。
搜索关键词: 一种 基于 doe 聚焦 光斑 分析 视觉 监测 系统
【主权项】:
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