[实用新型]一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统

权利要求书

1.一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：包括激光器(1)、扩束镜(2)、DOE(3)、振镜(5)、场镜(6)、第一反射镜(7)、光线收集器(8)、物镜(9)和CCD相机(10)，在所述激光器(1)前方依次设置扩束镜(2)、DOE(3)、振镜(5)，所述振镜(5)的另一端连接有场镜(6)，所述场镜(6)的前方设置有第一反射镜(7)，所述第一反射镜(7)的透射光路上设有物镜(9)和与物镜(9)连接的CCD相机(10)，反射光路上设有光线收集器(8)。

2.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述扩束镜(2)为1-4倍扩束的变倍扩束镜。

3.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述DOE(3)和振镜(5)之间还设有光路转折单元(4)，用于改变光路方向。

4.根据权利要求3所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述光路转折单元(4)包括多个第二反射镜，且第一个所述第二反射镜的入射光路上设置DOE(3)，最后一个所述第二反射镜的反射光路上设置振镜(5)，中间位置处所述第二反射镜的入射光路上均设置另一个第二反射镜。

5.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述场镜(6)通过螺栓固定连接在振镜(5)的出光孔位置处。

6.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述DOE(3)入射光孔径为5mm。

7.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述振镜(5)的入射孔径为14mm。

8.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述场镜(6)的焦距为100mm。

9.根据权利要求1所述的一种基于DOE的聚焦光斑分析的焦斑视觉监测系统，其特征在于：所述物镜(9)为10X物镜(9)。