[实用新型]内嵌金属基氮化物材料外延衬底有效
| 申请号： | 202022428035.9 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN212967679U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王琦;梁智文;刘南柳;汪青;张国义 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | H01L23/373 | 分类号： | H01L23/373;H01L23/14;H01L23/13 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 韩丹 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及第三代半导体材料制备技术领域，尤指一种内嵌金属基氮化物材料外延衬底，包括衬底，衬底制有若干个凹坑，每个凹坑内依次生长有第一金属介质层、第二金属介质层和第三金属介质层，第三金属介质层在凹坑内生长至覆盖衬底。本实用新型解决第三代氮化物材料及器件散热差的问题，使氮化物材料及器件在工作过程中始终处于较低的结温状态，提高其可靠性及性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 氮化物 材料 外延 衬底 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学东莞光电研究院，未经北京大学东莞光电研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022428035.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
