[实用新型]一种液态源扩散装置有效
| 申请号: | 202022417673.0 | 申请日: | 2020-10-27 |
| 公开(公告)号: | CN213570826U | 公开(公告)日: | 2021-06-29 |
| 发明(设计)人: | 王英杰;何悦;宋飞飞 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 322118 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型属于电池制造技术领域,公开了一种液态源扩散装置,包括装有液态源的源瓶;进气管路向源瓶内输送气体;防回流装置包括设置在进气管路上的腔室,腔室的底部位于液态源的上方,支架固设于腔室中且设有固定部,气体及液态源能够通过支架,堵头设于腔室中且位于支架的上方,堵头能在液态源的浮力和流动压力作用下沿固定部在轴向上移动,以使堵头封堵上开口;出气管的下端插入源瓶中且下端口位于液态源的上方。当出气管的压力大于进气管路的压力时,液态源的浮力和流动压力使堵头及时地堵住腔室的上开口,避免液态源进入进气管路对进气管路及电子器件造成损伤。该液态源扩散装置能够防止液态源回流,装置结构简单,便于制造且制造成本低。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 液态 扩散 装置 | ||
【主权项】:
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