[实用新型]一种液态源扩散装置

说明书

本实用新型属于电池制造技术领域，公开了一种液态源扩散装置，包括装有液态源的源瓶；进气管路向源瓶内输送气体；防回流装置包括设置在进气管路上的腔室，腔室的底部位于液态源的上方，支架固设于腔室中且设有固定部，气体及液态源能够通过支架，堵头设于腔室中且位于支架的上方，堵头能在液态源的浮力和流动压力作用下沿固定部在轴向上移动，以使堵头封堵上开口；出气管的下端插入源瓶中且下端口位于液态源的上方。当出气管的压力大于进气管路的压力时，液态源的浮力和流动压力使堵头及时地堵住腔室的上开口，避免液态源进入进气管路对进气管路及电子器件造成损伤。该液态源扩散装置能够防止液态源回流，装置结构简单，便于制造且制造成本低。

技术领域

本实用新型涉及电池制造技术领域，尤其涉及一种液态源扩散装置。

背景技术

太阳能单晶电池的扩散工序通常使用液态源扩散，氮气通过气路管道进入源瓶内的液态源中进行鼓泡，气泡爆裂后释放气体，此时气体会携带一定量的三氯氧磷，进入石英管内参与化学反应和扩散，工艺过程中通过控制源瓶的气压和氮气的量来控制参与反应的三氯氧磷，因此，气路管道内部的压力控制显得尤为重要。

在氮气鼓泡的过程中，产生鼓泡的必要条件是进气管路的压力大于出气管路的压力，当出气管路堵塞或者炉管压力偏高等原因导致出气管路压力大于进气管路压力时，液态源就会回流入进气管路，进入气动阀，流量计，压力计等电子元器件，三氯氧磷不但会腐蚀破坏气体管路，还会对电子元器件造成破坏，影响气体管路气压的稳定，所以，液态源回流进入进气管路会带来很大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种液态源扩散装置，防止液态源回流进入进气管路，避免液态源对进气管路及电子器件造成损伤。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：一种液态源扩散装置，包括：

源瓶，装有液态源；

进气管路，包括第一进气管和第二进气管，所述第一进气管的下端插入所述源瓶内，被配置为向所述源瓶内输送气体，所述第二进气管的下端伸入所述液态源中；

防回流装置，包括腔室，支架及堵头，所述腔室的底部位于所述液态源的上方，所述腔室包括上开口和下开口，所述上开口与所述第一进气管的下端口连通，所述下开口与所述第二进气管的上端口连通，所述支架固设于所述腔室中，所述支架设有固定部，所述气体及所述液态源能够通过所述支架，所述堵头设于所述腔室中，所述堵头位于所述支架的上方，所述堵头能在所述液态源的浮力和流动压力作用下沿所述固定部在轴向上移动，以使所述堵头封堵所述上开口；

出气管，所述出气管的下端插入所述源瓶中，且所述出气管的下端口位于所述液态源的上方。

作为优选，所述固定部为固定柱，所述堵头的下端设有固定槽，所述堵头通过所述固定槽可滑动地套设于所述固定柱上。

作为优选，所述固定部为限位台，所述限位台至少有三个，所述限位台与所述堵头的外侧壁滑动贴合。

作为优选，所述固定部为筒体，所述筒体的内壁与所述堵头的外侧壁滑动贴合。

作为优选，所述支架的下端与所述腔室的底壁间隔设置。

作为优选，所述堵头的下端面为中心区域外凸的台阶面。

作为优选，所述堵头的内部开设空腔。

作为优选，所述腔室的上内壁面及所述堵头的上端面的形状为弧形。

作为优选，所述支架沿径向延伸有多个支撑筋，多个所述支撑筋沿所述支架的周向均布，所述支架位于相邻两个所述支撑筋之间的部分镂空。

作为优选，所述上开口所在端面的面积为所述上开口面积的1.5-4倍。