[实用新型]硅片承载盒以及具有其的导片机

摘要

本实实用新型公开了一种硅片承载盒以及具有其的导片机。硅片承载盒包括：底板、多个侧挡板。底板具有多组安装插槽，每组内的多个安装插槽呈矩形分布，且至少两个插槽在底板的长度方向相对、至少两个插槽在底板的宽度方向相对；呈矩形分布的多个侧挡板的内侧限定出硅片容纳空间，每个侧挡板包括主板体以及连接在主板体的底端的插接键，多个侧挡板的插接键与多个安装插槽一一对应地插接适配，侧挡板的与硅片容纳空间相对的两个表面为第一侧壁和第二侧壁，至少一个侧挡板的插接键距离第一侧壁、第二侧壁的间距不同。由此，通过改变侧挡板的位置，可以形成大小不同的硅片容纳空间，增加硅片承载盒的实用性，提高硅片承载盒的利用率。