[实用新型]一种MEMS麦克风结构有效
| 申请号： | 202022333077.4 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN213403499U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王青松 | 申请（专利权）人： | 瑶芯微电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风结构，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；所述振膜悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；所述支架连接于所述振膜与所述基板之间，且所述折叠结构与所述振膜的中心之间的距离小于所述支架与所述振膜的中心之间的距离。本实用新型中，振膜包括用于增加振膜柔性程度和降低振膜内应力的折叠结构，且所述折叠结构呈直角弯折，当为了达到更好的应力释放效果而增加折叠结构的数量时，相比于弧形结构，本实用新型能够有效减小折叠区域所占用的振膜面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 结构 | ||
【主权项】：
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