[实用新型]一种稳定的气体流量控制系统有效

专利信息
申请号: 202022295483.6 申请日: 2020-10-15
公开(公告)号: CN213482711U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 沈燕;葛安琪;高为达 申请(专利权)人: 康姆德润达(无锡)测量技术有限公司
主分类号: G05D7/06 分类号: G05D7/06;G01F1/34
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 夏楠
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种稳定的气体流量控制系统,包括滤膜夹持装置、小孔流量计模块、真空抽气泵、控制器,滤膜夹持装置包括可夹持滤膜的滤膜夹,滤膜夹持装置下端通过转换接口和小孔流量计模块的前端相连接,小孔流量计模块的后端通过管路和真空抽气泵相连接,控制器的使能控制接口和模拟量输出接口通过控制线与真空抽气泵的控制端口连接;小孔流量计模块包括前端软管接口和后端软管接口,前端软管接口和后端软管接口分别通过前端管道和后端管道连接控制器的两个软管压力输入接口,该系统设计在普通流量计的基础上做了升级,不再需要依靠人为观察和进行手工调节,可以根据现场环境自动对真空抽气泵的输出进行调节,保证流量的稳定性。
搜索关键词: 一种 稳定 气体 流量 控制系统
【主权项】:
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