[实用新型]一种稳定的气体流量控制系统

权利要求书

1.一种稳定的气体流量控制系统，其特征在于：包括滤膜夹持装置(1)、小孔流量计模块(2)、真空抽气泵(3)、控制器(4)，所述滤膜夹持装置(1)包括可夹持滤膜的滤膜夹(5)，滤膜支撑托(6)下端通过转换接口和小孔流量计模块(2)的前端相连接，所述小孔流量计模块(2)的后端通过管路和真空抽气泵(3)相连接，所述控制器(4)的使能控制接口(18)和模拟量输出接口(19)通过控制线与真空抽气泵(3)的控制端口(15)连接；

所述小孔流量计模块(2)包括前端软管接口(8)、后端软管接口(12)、节流孔板(9)，所述前端软管接口(8)和后端软管接口(12)分别通过前端管道(7)和后端管道(11)连接到控制器(4)的两个软管压力输入接口(16)，所述节流孔板(9)设置在小孔流量计模块(2)内位于前端软管接口(8)和后端软管接口(12)之间设置，所述节流孔板(9)中心处设有小孔用以节流形成压差，所述小孔流量计模块(2)内设有温度传感器(10)，所述温度传感器(10)连接控制器(4)的温度传感器输入接口(17)，整个气路通道方向为滤膜到真空抽气泵出气口(14)。

2.如权利要求1所述的气体流量控制系统，其特征在于：所述小孔流量计模块(2)包括上部分(201)和下部分(202)，所述节流孔板(9)设置在上部分(201)和下部分(202)之间，所述上部分(201)和下部分(202)通过螺纹连接。

3.如权利要求1所述的气体流量控制系统，其特征在于：所述节流孔板(9)为片状结构，所述节流孔板(9)的小孔孔径小于上下管道直径。

4.如权利要求1所述的气体流量控制系统，其特征在于：所述滤膜夹持装置(1)包括滤膜支撑托(6)，所述滤膜支撑托(6)设置在滤膜夹(5)底部。

5.如权利要求1所述的气体流量控制系统，其特征在于：所述控制器(4)上包括显示屏(20)。

6.如权利要求1所述的气体流量控制系统，其特征在于：所述真空抽气泵(3)包含吸气口(13)，出气口(14)，所述小孔流量计模块(2)的后端通过管路和真空抽气泵(3)的吸气口相连接。