[实用新型]单晶硅检测样片专用石英舟有效
| 申请号： | 202022248141.9 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213327941U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 祁海滨;冉泽平;谢国荣;倪浩然;李金波;王忠保;王凯 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;G01N1/28 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种单晶硅检测样片专用石英舟，包括第一连接板、第二连接板、检测样片支撑杆、防变形固定件，第一连接板、第二连接板对向设置，检测样片支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，检测样片支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板相连接，检测样片支撑杆上设置有卡槽，检测样片支撑杆呈U形结构排列，防变形固定件设置在检测样片支撑杆的下方；本实用新型对石英舟结构进行优化设计，能够将检测样片竖直放置，防止检测样片向两侧偏倒，避免应力集中对处理效果造成影响，防变形固定件对检测样片支撑杆具有固定约束作用，在检测样片支撑杆热胀冷缩后，可以防止检测样片支撑杆发生变形，导致检测样片损毁及石英舟损伤的现象发生。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 检测 样片 专用 石英 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，未经宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022248141.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种测试系统
- 下一篇：炉门气封连接式矿热炉
