[实用新型]单晶硅检测样片专用石英舟有效
| 申请号： | 202022248141.9 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN213327941U | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 祁海滨;冉泽平;谢国荣;倪浩然;李金波;王忠保;王凯 | 申请（专利权）人： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;G01N1/28 |
| 代理公司： | 宁夏合天律师事务所 64103 | 代理人： | 曹广涛 |
| 地址： | 750021 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 检测 样片 专用 石英 | ||
1.一种单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：包括第一连接板、第二连接板、检测样片支撑杆、防变形固定件，所述第一连接板、第二连接板对向设置，所述检测样片支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，检测样片支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板相连接，检测样片支撑杆上设置有卡槽，卡槽的尺寸与检测样片的尺寸相匹配，检测样片支撑杆呈弧形排列，使检测样片支撑杆围成一个用于支撑检测样片的U形结构，所述防变形固定件设置在检测样片支撑杆的下方。
2.根据权利要求1所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述第一连接板、第二连接板上均设置有用于连接检测样片支撑杆的连接孔。
3.根据权利要求1所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述检测样片支撑杆包括底部支撑杆、左侧支撑杆、右侧支撑杆，所述底部支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，底部支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板下部设置的连接孔相连接，所述左侧支撑杆、右侧支撑杆设置在第一连接板、第二连接板之间，左侧支撑杆、右侧支撑杆分别对向设置在底部支撑杆两侧的侧上方，左侧支撑杆、右侧支撑杆的两个端部分别与第一连接板、第二连接板中部设置的连接孔相连接。
4.根据权利要求3所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述底部支撑杆的数量是两个。
5.根据权利要求3所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述左侧支撑杆、右侧支撑杆之间的距离大于底部支撑杆之间的距离。
6.根据权利要求1所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述防变形固定件呈U形，防变形固定件的底部上表面及两侧内壁的上端位置均开设有用于底部支撑杆、左侧支撑杆、右侧支撑杆嵌入的定位槽。
7.根据权利要求6所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述防变形固定件的数量是至少两个，且防变形固定件沿底部支撑杆的轴向方向等距设置。
8.根据权利要求1所述的单晶硅检测样片专用石英舟，其特征在于：所述第一连接板、第二连接板的上部均开设有通孔。
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