[实用新型]一种新型半导体硅片割圆设备有效
| 申请号: | 202022244949.X | 申请日: | 2020-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN213947050U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
| 发明(设计)人: | 王海霖 | 申请(专利权)人: | 上海亿钶气体有限公司 |
| 主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00 |
| 代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 杜丹盛 |
| 地址: | 200333 上海市普陀*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种新型半导体硅片割圆设备,包括支架和安装在支架上的罩壳,所述罩壳内上下对称式地转动安插有两个支撑杆,两个所述支撑杆相对的一端均通过伸缩组件连接有压抵座,两个所述支撑杆相背对的一端均固定套接有蜗轮,所述罩壳外设置有与两个蜗轮相匹配的带转机构,且所述罩壳的内壁上安装有分割组件,所述分割组件包括安装在罩壳内壁上的电动滑轨,所述电动滑轨上滑动设置有电动滑块,所述电动滑块上安装有割刀,所述带转机构包括分别转动安插在罩壳侧面的两个蜗杆,两个所述蜗杆伸入罩壳内的一端分别与两个蜗轮啮合连接。本实用新型通过机械助力的方式实现对半导体硅片的规整割圆,能最大程度上保证成品的质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 新型 半导体 硅片 设备 | ||
【主权项】:
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