[实用新型]硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉有效
| 申请号： | 202022229059.1 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN213866497U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 张孝山;汪成洋;陈斌;甘易武;冉胜国 | 申请（专利权）人： | 亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/04 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 张巨箭 |
| 地址： | 810007 青海*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉，所述装置包括：位于硅芯炉内部硅芯料；加热线圈，设置于硅芯料上方；加热片，设置于加热线圈和硅芯料顶部之间；第一驱动电机，与所述加热片连接；下轴，与所述硅芯料底部固定连接；第二驱动电机，与所述下轴连接；温度监测装置，用于监测硅芯炉内部温度；以及控制单元，与所述温度监测装置、所述第一驱动电机和所述第二驱动电机连接，用于根据接收到的所述硅芯炉内部温度控制第一驱动电机和第二驱动电机，从而控制所述加热片和下轴。本实用新型主要用于多晶硅硅芯生长，具体涉及预热和加热步骤，无需人工时刻观察，并且加热状态可以得到反馈。 | ||
| 搜索关键词： | 硅芯炉 自动 加热 升温 装置 | ||
【主权项】：
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