[实用新型]硅芯炉自动加热升温装置和硅芯炉有效

专利信息
申请号: 202022229059.1 申请日: 2020-10-09
公开(公告)号: CN213866497U 公开(公告)日: 2021-08-03
发明(设计)人: 张孝山;汪成洋;陈斌;甘易武;冉胜国 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/04
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 810007 青海*** 国省代码: 青海;63
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 硅芯炉 自动 加热 升温 装置
【权利要求书】:

1.硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:包括:

位于硅芯炉内部硅芯料;

加热线圈,设置于硅芯料上方;

加热片,设置于加热线圈和硅芯料顶部之间;第一驱动电机,与所述加热片连接;

下轴,与所述硅芯料底部固定连接;第二驱动电机,与所述下轴连接;

温度监测装置,用于监测硅芯炉内部温度;以及

控制单元,与所述温度监测装置、所述第一驱动电机和所述第二驱动电机连接,用于根据接收到的所述硅芯炉内部温度控制第一驱动电机和第二驱动电机,从而控制所述加热片和下轴。

2.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第一驱动电机为拨叉电机,所述拨叉电机设置于硅芯炉外部;所述拨叉电机的输出轴连接拨叉体,所述拨叉体与加热片固定连接,所述拨叉体穿过硅芯炉的拨叉口。

3.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述下轴包括:

轴体,所述轴体包括一体成型的内轴和外轴,所述内轴位于硅芯炉内部,所述外轴位于硅芯炉外部;

料座,与所述内轴顶部固定连接;所述硅芯料设置于料座上。

4.根据权利要求3所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第二驱动电机为伺服电机,所述伺服电机设置于硅芯炉外部;所述伺服电机与外轴连接。

5.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述控制单元接收到的温度监测装置发送的所述硅芯炉内部温度超过第一温度时,控制第一驱动电机驱动所述加热片远离加热线圈。

6.根据权利要求5所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述控制单元接收到的温度监测装置发送的所述硅芯炉内部温度超过第二温度时,控制第二驱动电机驱动所述下轴进行旋转。

7.根据权利要求6所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述第二温度高于第一温度。

8.根据权利要求6所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述旋转为沿同一方向的匀速旋转。

9.根据权利要求1所述的硅芯炉自动加热升温装置,其特征在于:所述硅芯炉炉体上设置有预热视镜,所述温度监测设置于所述预热视镜外。

10.一种硅芯炉,其特征在于:包括如权利要求1~9中任意一项所述的硅芯炉自动加热升温装置。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司,未经亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022229059.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top