[实用新型]一种高质量硅籽晶的固定夹持装置有效
申请号: | 202022200695.1 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213524692U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 张新峰 | 申请(专利权)人: | 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙) |
主分类号: | A47F7/00 | 分类号: | A47F7/00;A47F3/00;A47F3/11;A47F3/12;A47F11/10;H05F3/06;E06B3/36 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 孙腾 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,包括底座和保护罩,所述底座的内部固定安装有调节电机,且调节电机的输出端转动安装有旋转盘,所述旋转盘的顶部固定安装有支撑杆,且支撑杆的内部活动安装有伸缩杆,所述伸缩杆的顶部固定安装有安装座,且安装座的顶部固定安装有安装杆,所述安装杆的顶部固定安装有固定套。本实用新型设置有保护罩密封门配合,可以对硅籽晶加工时进行保护密封,避免或是降低了灰尘吸附在硅籽晶的表面,提高了装置的实用性,设置有离子风机可以对硅籽晶夹持时吹离子风,提高了硅籽晶夹持时的安全性,夹持装置更加便于使用,扩大了适用范围。 | ||
搜索关键词: | 一种 质量 籽晶 固定 夹持 装置 | ||
【主权项】:
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