[实用新型]一种高质量硅籽晶的固定夹持装置有效
申请号: | 202022200695.1 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213524692U | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 张新峰 | 申请(专利权)人: | 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙) |
主分类号: | A47F7/00 | 分类号: | A47F7/00;A47F3/00;A47F3/11;A47F3/12;A47F11/10;H05F3/06;E06B3/36 |
代理公司: | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人: | 孙腾 |
地址: | 226500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 质量 籽晶 固定 夹持 装置 | ||
1.一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,包括底座(2)和保护罩(4),其特征在于:所述底座(2)的内部固定安装有调节电机(16),且调节电机(16)的输出端转动安装有旋转盘(8),所述旋转盘(8)的顶部固定安装有支撑杆(9),且支撑杆(9)的内部活动安装有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)的顶部固定安装有安装座(11),且安装座(11)的顶部固定安装有安装杆(12),所述安装杆(12)的顶部固定安装有固定套(13),且固定套(13)的内部设有橡皮垫(1301),所述底座(2)的顶部固定安装有保护罩(4),且保护罩(4)的顶部固定安装有顶罩(7),所述保护罩(4)的正面活动安装有密封门(5),所述底座(2)内部的两侧固定安装有离子风机(15)。
2.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述底座(2)的底部固定安装有支撑垫(1),且支撑垫(1)上均布设有防滑槽(101)。
3.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述支撑杆(9)上转动安装有定位轴(901),且伸缩杆(10)上设有调节槽(1001)。
4.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述保护罩(4)内部的顶部固定安装有两组固定架(1401),且固定架(1401)上固定安装有照射灯(14)。
5.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述密封门(5)正面的一侧固定安装有拉杆(6),且拉杆(6)上固定安装有锁孔(601)。
6.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述底座(2)的正面设有调节轴(3),且调节轴(3)的一侧固定安装有调节按钮(301)。
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