[实用新型]一种高质量硅籽晶的固定夹持装置有效

专利信息
申请号: 202022200695.1 申请日: 2020-09-30
公开(公告)号: CN213524692U 公开(公告)日: 2021-06-25
发明(设计)人: 张新峰 申请(专利权)人: 如皋卓远中乌第三代半导体产业技术研究院(有限合伙)
主分类号: A47F7/00 分类号: A47F7/00;A47F3/00;A47F3/11;A47F3/12;A47F11/10;H05F3/06;E06B3/36
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 孙腾
地址: 226500 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 质量 籽晶 固定 夹持 装置
【权利要求书】:

1.一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,包括底座(2)和保护罩(4),其特征在于:所述底座(2)的内部固定安装有调节电机(16),且调节电机(16)的输出端转动安装有旋转盘(8),所述旋转盘(8)的顶部固定安装有支撑杆(9),且支撑杆(9)的内部活动安装有伸缩杆(10),所述伸缩杆(10)的顶部固定安装有安装座(11),且安装座(11)的顶部固定安装有安装杆(12),所述安装杆(12)的顶部固定安装有固定套(13),且固定套(13)的内部设有橡皮垫(1301),所述底座(2)的顶部固定安装有保护罩(4),且保护罩(4)的顶部固定安装有顶罩(7),所述保护罩(4)的正面活动安装有密封门(5),所述底座(2)内部的两侧固定安装有离子风机(15)。

2.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述底座(2)的底部固定安装有支撑垫(1),且支撑垫(1)上均布设有防滑槽(101)。

3.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述支撑杆(9)上转动安装有定位轴(901),且伸缩杆(10)上设有调节槽(1001)。

4.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述保护罩(4)内部的顶部固定安装有两组固定架(1401),且固定架(1401)上固定安装有照射灯(14)。

5.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述密封门(5)正面的一侧固定安装有拉杆(6),且拉杆(6)上固定安装有锁孔(601)。

6.根据权利要求1所述的一种高质量硅籽晶的固定夹持装置,其特征在于:所述底座(2)的正面设有调节轴(3),且调节轴(3)的一侧固定安装有调节按钮(301)。

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