[实用新型]一种可调节长度的遮罩有效

专利信息
申请号: 202022187592.6 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN214422736U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 陈淼淼;黎静 申请(专利权)人: 江苏实为半导体科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 李翩
地址: 221300 江苏省徐州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开的一种可调节长度的遮罩,涉及蒸镀技术领域。所述遮罩,罩设于晶振探头的前端,包括上遮罩、下遮罩以及调节装置;所述上遮罩罩设于晶振探头外,并与晶振探头固定连接;所述下遮罩套设于上遮罩远离与晶振探头连接的一端,在调节装置的带动下,相对于上遮罩上下移动;所述调节装置包括滑筒和滑杆;所述滑筒固定连接于上遮罩内壁,所述滑杆设置于下遮罩内壁,可伸入滑筒内,并沿滑筒上下移动、固定,从而带动下遮罩相对于上遮罩上下移动、固定,调节上遮罩与下遮罩位置关系。本实用新型公开的一种可调节长度的遮罩,可根据待保护晶振片的长度,合理调节长度,对晶振片做到有效保护,提高了检测数据的准确性。
搜索关键词: 一种 调节 长度
【主权项】:
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