[实用新型]一种可调节长度的遮罩

说明书

本实用新型公开的一种可调节长度的遮罩，涉及蒸镀技术领域。所述遮罩，罩设于晶振探头的前端，包括上遮罩、下遮罩以及调节装置；所述上遮罩罩设于晶振探头外，并与晶振探头固定连接；所述下遮罩套设于上遮罩远离与晶振探头连接的一端，在调节装置的带动下，相对于上遮罩上下移动；所述调节装置包括滑筒和滑杆；所述滑筒固定连接于上遮罩内壁，所述滑杆设置于下遮罩内壁，可伸入滑筒内，并沿滑筒上下移动、固定，从而带动下遮罩相对于上遮罩上下移动、固定，调节上遮罩与下遮罩位置关系。本实用新型公开的一种可调节长度的遮罩，可根据待保护晶振片的长度，合理调节长度，对晶振片做到有效保护，提高了检测数据的准确性。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种可调节长度的遮罩。

背景技术

在半导体的多源蒸镀作业中，为了延长晶振片的使用寿命和避免其他蒸镀源对测试结果造成影响，通常会在晶振片的前端安装遮罩。遮罩的长度对于检测数据的准确性有非常大的影响：遮罩过长，会使蒸镀物质被遮罩所吸收导致到达晶振片上的蒸发物数量少，造成厚度检测数据不准确；遮罩过短，不能有效的阻挡其他蒸镀源对晶振片的干扰，同样会造成厚度检测数据不准确。

但是，产品测试阶段，无法预先确定遮罩的合适长度，而每个长度的遮罩都制作，又会造成材料的浪费，且不能保证产品一致性。

因此，如何选择一个合适长度的遮罩，是本领域急需解决的技术难题。

实用新型内容

根据本实用新型的目的提出的一种可调节长度的遮罩，罩设于晶振探头的前端，包括上遮罩、下遮罩以及调节装置。

所述上遮罩罩设于晶振探头外，并与晶振探头固定连接。

所述下遮罩套设于上遮罩远离与晶振探头连接的一端，在调节装置的带动下，相对于上遮罩上下移动。

所述调节装置包括滑筒和滑杆；所述滑筒固定连接于上遮罩内壁，所述滑杆设置于下遮罩内壁，可伸入滑筒内，并沿滑筒上下移动、固定，从而带动下遮罩相对于上遮罩上下移动、固定，调节上遮罩与下遮罩位置关系。

优选的，所述下遮罩内固定连接有固定块，所述滑杆穿过固定块伸入滑筒内。

优选的，所述滑筒表面沿其延伸方向均布一排通孔；所述滑杆包括滑杆本体、移动杆、弹簧以及滚珠；所述滑杆本体为空心杆，其两端为半封闭的圆环，所述滑杆本体一端与固定块内壁固定连接，另一端伸入滑筒内，且表面成型有一过孔；所述移动杆设置于滑杆本体内，两端分别伸出滑杆本体，其中一端套设有弹簧，并于端部固定连接一按压块，另一端固定连接限位块，所述限位块与滑杆本体端部的圆环配合作用，限制移动杆的下移位置；所述移动杆上与滑杆本体上过孔相对应的位置处成型有斜槽，所述滚珠放置于斜槽内，在斜槽的作用下突出或收缩于滑杆本体，与滑筒上通孔配合，锁定或解除滑筒与滑杆的连接。

优选的，所述限位块为与滑杆本体螺纹连接的螺母，所述螺母外径大于滑杆本体端部圆环内径。

优选的，所述移动杆上沿其延伸方向成型有条形槽，所述滑杆本体内壁成型有与条形槽配合的条形嵌块，所述条形嵌块可嵌入条形槽内，以限制移动杆相对于滑杆本体的周向转动，并在移动杆的前后移动作用下于条形槽内滑动。

优选的，所述滑筒内壁成型有内螺纹，所述滑杆为法兰螺栓，其穿过固定块后伸入滑筒，伸入滑筒的一端外壁成型有与内螺纹相匹配的外螺纹，所述滑筒与滑杆螺纹连接；所述滑杆远离滑筒的一端外表面成型有一环形挡块，所述环形挡块设置于固定块下，外径大于固定块内径。

优选的，所述调节装置为对称设置的两组。

优选的，所述上遮罩顶部其中一组相对面的边缘处向内折弯，形成卡勾，与晶振探头外表面上所成型的滑槽配合卡接固定。

优选的，所述上遮罩和下遮罩的表面均刻有刻度。