[实用新型]一种用于硅电极氧化的治具有效
| 申请号： | 202022146482.5 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213515079U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 韩颖超;马志杰;余正飞;李长苏 | 申请（专利权）人： | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 郑汝珍 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅电极氧化的治具，属于半导体硅材料制造技术领域，包括若干个上下堆叠的环形支撑盘，所述环形支撑盘的内侧设有若干个用于放置硅电机的支撑块，所述环形支撑盘上设有若干个贯通其内侧和外侧的气体交换窗，所述环形支撑盘的上端设有上卡接环，所述环形支撑盘的下端设有可以与所述上卡接环适配卡接的下卡接环，通过所述支撑块可以实现治具与硅电极的点接触，从而提高了硅电极与周围氧化环境的接触面积，从而提高了氧化效率，解决了现有技术中多个硅电极在立式炉内氧化时不易固定，氧化时表面无法完全暴露在氧化环境中，导致氧化不充分的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电极 氧化 | ||
【主权项】：
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