[实用新型]一种甩胶腔体结构有效
| 申请号： | 202022126686.2 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213792317U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 吴涛 | 申请（专利权）人： | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B12/36 | 分类号： | B05B12/36;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种甩胶腔体结构，它包括腔体(1)，所述腔体(1)内设置有转轴(2)，所述转轴(2)顶部设置有托盘(3)，所述腔体(1)内壁上均匀设置有多个挡板(4)。本实用新型一种甩胶腔体结构，它能够解决传统结构腔体在甩胶过程中出现的因胶体反溅到晶圆边缘导致胶层偏厚以及胶体颗粒残留的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 甩胶腔体 结构 | ||
【主权项】：
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