[实用新型]一种II类超晶格长波红外探测器有效

专利信息
申请号: 202022076504.5 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN213601879U 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 刘永锋;张传杰 申请(专利权)人: 武汉高芯科技有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/18
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 胡建文
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型涉及红外探测器技术领域,提供了一种II类超晶格长波红外探测器,包括衬底,还包括于所述衬底上依次生长的P型接触层、吸收层、空穴势垒层以及N型接触层,所述P型接触层未生长所述吸收层的部位上制作有下电极,所述N型接触层上制作有上电极;所述空穴势垒层为InAsSb空穴势垒层。本实用新型与传统的InAs/GaSb超晶格PIN长波结构相比,引入了宽禁带的InAsSb空穴势垒层,通过掺杂调制,可使PN结耗尽区尽可能分布在InAsSb势垒层,从而有效抑制产生‑复合电流,提高器件的电学性能;InAsSb结构的空穴势垒层和N型接触层不含Al元素,可以规避含Al结构在材料生长过程中吸杂和器件加工过程中稳定性差的问题。
搜索关键词: 一种 ii 晶格 长波 红外探测器
【主权项】:
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