[实用新型]一种II类超晶格长波红外探测器有效
| 申请号: | 202022076504.5 | 申请日: | 2020-09-21 |
| 公开(公告)号: | CN213601879U | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
| 发明(设计)人: | 刘永锋;张传杰 | 申请(专利权)人: | 武汉高芯科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 胡建文 |
| 地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 ii 晶格 长波 红外探测器 | ||
1.一种II类超晶格长波红外探测器,包括衬底,其特征在于:还包括于所述衬底上依次生长的P型接触层、吸收层、空穴势垒层以及N型接触层,所述P型接触层未生长所述吸收层的部位上制作有下电极,所述N型接触层上制作有上电极;所述空穴势垒层为InAsSb空穴势垒层。
2.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述P型接触层为InAs/GaSb超晶格P型接触层。
3.如权利要求2所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格P型接触层包括50~80周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括2~3nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。
4.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述吸收层为InAs/GaSb超晶格吸收层。
5.如权利要求4所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格吸收层包括200~400周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括4~5nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。
6.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述N型接触层为InAs/GaSb超晶格N型接触层。
7.如权利要求6所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格N型接触层包括30~80周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括3~4nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。
8.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述衬底为GaSb衬底。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的





