[实用新型]一种II类超晶格长波红外探测器有效

专利信息
申请号: 202022076504.5 申请日: 2020-09-21
公开(公告)号: CN213601879U 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 刘永锋;张传杰 申请(专利权)人: 武汉高芯科技有限公司
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/18
代理公司: 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 代理人: 胡建文
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 ii 晶格 长波 红外探测器
【权利要求书】:

1.一种II类超晶格长波红外探测器,包括衬底,其特征在于:还包括于所述衬底上依次生长的P型接触层、吸收层、空穴势垒层以及N型接触层,所述P型接触层未生长所述吸收层的部位上制作有下电极,所述N型接触层上制作有上电极;所述空穴势垒层为InAsSb空穴势垒层。

2.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述P型接触层为InAs/GaSb超晶格P型接触层。

3.如权利要求2所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格P型接触层包括50~80周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括2~3nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。

4.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述吸收层为InAs/GaSb超晶格吸收层。

5.如权利要求4所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格吸收层包括200~400周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括4~5nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。

6.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述N型接触层为InAs/GaSb超晶格N型接触层。

7.如权利要求6所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述InAs/GaSb超晶格N型接触层包括30~80周期的InAs/GaSb超晶格,且每个周期的所述InAs/GaSb超晶格包括3~4nm的InAs层和2~3nm的GaSb层。

8.如权利要求1所述的一种II类超晶格长波红外探测器,其特征在于:所述衬底为GaSb衬底。

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