[实用新型]一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头有效
| 申请号： | 202022073530.2 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213858731U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 刘建业 | 申请（专利权）人： | 江门市蓬江区泰德利机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/32 |
| 代理公司： | 江门市博盈知识产权代理事务所(普通合伙) 44577 | 代理人： | 何办君 |
| 地址： | 529000 广东省江门市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械抛光技术领域，且公开了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴，抛光机输出主轴的下端连接有化学机械抛光承载头；化学机械抛光承载头的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔，化学机械抛光承载头上安装有便捷化学机械抛光保持环；便捷化学机械抛光保持环的两侧均连接有便捷拆装连接把手；便捷拆装连接把手的外表面设置有定位螺栓。该化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，通过化学机械抛光承载头和多个定位螺栓连接孔配合使用，使保持环与晶圆的距离能够达到最佳位置，防止晶圆出现过抛现象，能够有效的避免金属离子污染和保持环与晶圆发生机械碰撞，提升了设备的实用效果和安全性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 保持 承载 | ||
【主权项】：
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