[实用新型]一种石墨舟校正架有效
| 申请号: | 202022036736.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN212810255U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 浙江纽能新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 上海博杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 31358 | 代理人: | 朱永梅 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型公开了一种石墨舟校正架,该校正架包括底板、固设于该底板顶面第一侧的第一直线导轨、固设于该底板顶面第二侧并与该第一直线导轨平行设置的第二直线导轨、可滑动设置于该第一直线导轨上的至少两个第一滑动座、可滑动设置于该第二直线导轨上的至少两个第二滑动座、固定连接该第一滑动座和第二滑动座并用于卡住该石墨舟的至少两个齿条座、固设于该齿条座一端的垂直座,该至少两个齿条座中每个齿条座顶面均设有可供石墨舟卡入连接的至少两个齿槽。使用本实用新型的石墨舟校正架时,可将石墨舟片放置于齿条座的齿槽内,并根据石墨舟的长度或宽度调整相邻两个齿条座的距离。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 校正 | ||
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





