[实用新型]一种石墨舟校正架有效
| 申请号: | 202022036736.8 | 申请日: | 2020-09-17 |
| 公开(公告)号: | CN212810255U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请(专利权)人: | 浙江纽能新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 上海博杰专利代理事务所(特殊普通合伙) 31358 | 代理人: | 朱永梅 |
| 地址: | 314100 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 校正 | ||
1.一种石墨舟校正架,其特征在于,所述校正架包括底板、固设于所述底板顶面第一侧的第一直线导轨、固设于所述底板顶面第二侧并与所述第一直线导轨平行设置的第二直线导轨、可滑动设置于所述第一直线导轨上的至少两个第一滑动座、可滑动设置于所述第二直线导轨上的至少两个第二滑动座、固定连接所述第一滑动座和第二滑动座并用于卡住所述石墨舟的至少两个齿条座、固设于所述齿条座一端的垂直座,所述至少两个齿条座中每个齿条座顶面均设有可供石墨舟卡入连接的至少两个齿槽。
2.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述齿槽与所述第一直线导轨和第二直线导轨平行设置。
3.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述第一直线导轨第一端端部设有挡止所述第一滑动座的第一挡块,所述第二直线导轨第一端端部设有挡止所述第二滑动座的第二挡块。
4.根据权利要求3所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述底板第二端设有与所述底板垂直固定连接、并用于挡住所述第一直线导轨和第二直线导轨第二端端部的挡板。
5.根据权利要求4所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述挡板外侧面设有用于支撑所述挡板的筋板,所述筋板底端与所述底板顶面抵接,所述筋板侧边与所述挡板固定连接。
6.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述第一滑动座底部设有可在所述第一直线导轨上滑动的第一滑槽,所述第二滑动座底部设有可在所述第二直线导轨上滑动的第二滑槽。
7.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述第一滑动座和第二滑动座之间还设有固定连接所述第一滑动座和第二滑动座的连接件,所述连接件与所述第一滑动座和第二滑动座通过螺栓可拆卸连接,所述齿条座固设于所述连接件上。
8.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述底板底面第一侧设有第一安装条,所述底板底面第二侧设有第二安装条,所述第一安装条和第二安装条与所述底板的长度方向平行。
9.根据权利要求1所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述垂直座包括与所述齿条座可拆卸连接的连接座以及垂直固设于所述连接座上的三脚架。
10.根据权利要求9所述的石墨舟校正架,其特征在于,所述连接座上设有可用于调节垂直座位置的条形孔,所述三脚架上靠近所述齿槽的一侧设有抵紧条。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





