[实用新型]安瓿瓶管路结构

摘要

本实用新型公开了一种安瓿瓶管路结构，包括第一管路连在安瓿瓶入口和反应源之间；第二管路第一端连在第一管路的第一阀和第二阀之间，第二端连在第三管路的第三阀和第三管路第二端之间；第三管路第一端连安瓿瓶出口，第二端连在第四管路上第七阀和第八阀之间；第四管路第一端连脱气装置入口，第二端连在第五管路上第九阀和第十阀之间；第五管路连在氦气源和真空源之间；第六管路第一端连在氦气源和真空源之间；第七管路第一端连在第五阀和第六阀之间的第六管路上，第二端连安瓿瓶，检测仪安装在第七管路第一端和第十一阀之间；第八管路连在真空和连脱气装置之间。本实用新型能避免四乙氧基硅烷冷凝导致共通管路堵塞的造成无法对安瓿瓶进行排压。