[实用新型]一种PVD载板有效
| 申请号： | 202021986306.6 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213037838U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 张红星;张小健;樊天柱 | 申请（专利权）人： | 昆山市正行电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PVD载板，包括底板和铰链，所述底板的正表面开设有承载槽，所述底板的正表面且位于承载槽的内腔开设有透气孔，所述底板正表面的底部开设有放置槽，所述底板正表面的两侧均开设有夹持槽，所述夹持槽内腔的两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧远离夹持槽的一侧固定连接有连接板，所述连接板远离弹簧的一侧固定连接有防滑板。本实用新型通过设置底板、合板、透气孔、承载槽、放置槽、夹持槽、铰链、夹板、三角垫、方形通槽、弹簧、连接板、防滑板和伸缩杆配合使用，解决了现有的PVD载板不具有稳定夹持的功能，易导致硅片随意移动，无法满足使用者的需求，降低了PVD载板实用性的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 载板 | ||
【主权项】：
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