[实用新型]一种PVD载板

说明书

本实用新型公开了一种PVD载板，包括底板和铰链，所述底板的正表面开设有承载槽，所述底板的正表面且位于承载槽的内腔开设有透气孔，所述底板正表面的底部开设有放置槽，所述底板正表面的两侧均开设有夹持槽，所述夹持槽内腔的两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧远离夹持槽的一侧固定连接有连接板，所述连接板远离弹簧的一侧固定连接有防滑板。本实用新型通过设置底板、合板、透气孔、承载槽、放置槽、夹持槽、铰链、夹板、三角垫、方形通槽、弹簧、连接板、防滑板和伸缩杆配合使用，解决了现有的PVD载板不具有稳定夹持的功能，易导致硅片随意移动，无法满足使用者的需求，降低了PVD载板实用性的问题。

技术领域

本实用新型涉及PVD技术领域，具体为一种PVD载板。

背景技术

PVD即为物理气相沉积，物理气相沉积技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。

在溅射镀膜的过程中，常会用到PVD载板来对需制备薄膜的硅片进行放置，现有的PVD载板不具有稳定夹持的功能，易导致硅片随意移动，无法满足使用者的需求，降低了PVD载板的实用性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种PVD载板，具备稳定夹持的优点，解决了现有的PVD载板不具有稳定夹持的功能，易导致硅片随意移动，无法满足使用者的需求，降低了PVD载板实用性的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种PVD载板，包括底板和铰链，所述底板的正表面开设有承载槽，所述底板的正表面且位于承载槽的内腔开设有透气孔，所述底板正表面的底部开设有放置槽，所述底板正表面的两侧均开设有夹持槽，所述夹持槽内腔的两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧远离夹持槽的一侧固定连接有连接板，所述连接板远离弹簧的一侧固定连接有防滑板，两个防滑板相对一侧的顶部与底部均固定连接有伸缩杆，所述底板的顶部通过铰链活动连接有合板，所述合板的正表面开设有与承载槽配合使用的方形通槽，所述方形通槽内腔的四角均固定连接有三角垫，所述合板正表面的两侧均固定连接有与夹持槽配合使用的夹板。

优选的，所述承载槽内腔的正表面固定连接有防护垫，防护垫的表面开设有与透气孔配合使用的通孔。

优选的，所述合板顶部的中心处固定连接有拨片，所述承载槽的数量为若干个。

优选的，所述放置槽内腔的正表面固定连接有第一磁铁，所述合板正表面的顶部固定连接有与第一磁铁配合使用的第二磁铁。

优选的，所述方形通槽的规格等于承载槽的规格，所述弹簧的数量为若干个。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置底板、合板、透气孔、承载槽、放置槽、夹持槽、铰链、夹板、三角垫、方形通槽、弹簧、连接板、防滑板和伸缩杆配合使用，解决了现有的PVD载板不具有稳定夹持的功能，易导致硅片随意移动，无法满足使用者的需求，降低了PVD载板实用性的问题。

2、本实用新型通过设置三角垫，能够对硅片起到限位和防护的作用，通过设置拨片，能够便于使用者拨动合板，通过设置防护垫，能给对硅片的底部起到防护的作用，通过设置伸缩杆，能够防止连接板随着弹簧随意移动，通过设置防滑板，能够增大与夹板之间的摩擦力。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型夹持槽结构主视示意图；

图3为本实用新型连接板结构仰视剖视示意图；

图4为本实用新型放置槽结构主视示意图。