[实用新型]一种可自动校正偏差的智能化石英舟上下料机

摘要

本实用新型具体涉及一种可自动校正偏差的智能化石英舟上下料机，包括铝合金安装台，所述铝合金安装台的上端安装一侧设有铝合金安装架，所述铝合金安装架上安装设有吸盘模组左右移动机构，所述石英舟传送机构的一侧位于铝合金安装台的表面安装有产品校正机构，所述产品校正机构的中部位于铝合金安装台表面安装有硅片二次校正机构，本实用新型使用时通过石英舟传送机构与产品校正机构的两侧均设置石英舟上料轨道，当其中一个石英舟轨道进入扩散设备进行处理，另一个轨道可以同时进行装片，交替进行，从而包括花篮上料轨道一直处于运行状态，从而提高生产效率，且该装置节省成本，占地空间也较小，且自动化程度高。