[实用新型]半导体专用切换控温装置有效
| 申请号： | 202021869698.8 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213515251U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 董春辉;刘紫阳;芮守祯;何茂栋;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F28F27/02 | 分类号： | F28F27/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吴欢燕 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及温控技术领域，提供一种半导体专用切换控温装置，包括：换热管路，用于和被控设备进行热交换；第一支路，适于向所述换热管路提供具有第一设定温度的换热介质；第二支路，适于向所述换热管路提供具有第二设定温度的换热介质；所述第一支路和所述第二支路择一与所述换热管路导通，所述第一设定温度和所述第二设定温度不同。根据本实用新型实施例的半导体专用切换控温装置，由于第一支路和第二支路择一导通换热管路，也即可以选择使得具有第一设定温度的换热介质流入换热管路当中，也可以选择使得具有第二设定温度的换热介质流入换热管路当中，以实现对被控设备的快速温度调节。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 专用 切换 装置 | ||
【主权项】：
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