[实用新型]半导体专用切换控温装置

说明书

本实用新型涉及温控技术领域，提供一种半导体专用切换控温装置，包括：换热管路，用于和被控设备进行热交换；第一支路，适于向所述换热管路提供具有第一设定温度的换热介质；第二支路，适于向所述换热管路提供具有第二设定温度的换热介质；所述第一支路和所述第二支路择一与所述换热管路导通，所述第一设定温度和所述第二设定温度不同。根据本实用新型实施例的半导体专用切换控温装置，由于第一支路和第二支路择一导通换热管路，也即可以选择使得具有第一设定温度的换热介质流入换热管路当中，也可以选择使得具有第二设定温度的换热介质流入换热管路当中，以实现对被控设备的快速温度调节。

技术领域

本实用新型涉及温控技术领域，尤其涉及半导体专用切换控温装置。

背景技术

在半导体设备制造领域的一些生产工艺中，被控设备需要快速调节到某一任意温度点，如果利用原有冷热源，将换热介质的温度由第一温度值切换至第二温度值，则需要使得换热介质经加热器升温或制冷源降温，而加热器升温或者是制冷源降温一般需要几分钟甚至更久时间。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种半导体专用切换控温装置，其可以基于被控设备的需求切换不同温度的换热介质对被控设备进行温度调节，进而可以实现快速控温的目的。

根据本实用新型实施例的半导体专用切换控温装置，包括：

换热管路，用于和被控设备进行热交换；

第一支路，适于向所述换热管路提供具有第一设定温度的换热介质；

第二支路，适于向所述换热管路提供具有第二设定温度的换热介质；

所述第一支路和所述第二支路择一与所述换热管路导通，所述第一设定温度和所述第二设定温度不同。

根据本实用新型实施例的半导体专用切换控温装置，由于第一支路和第二支路择一导通换热管路，也即可以选择使得具有第一设定温度的换热介质流入换热管路当中，也可以选择使得具有第二设定温度的换热介质流入换热管路当中，以实现对被控设备的快速温度调节。

根据本实用新型的一个实施例，所述换热管路包括进口管段和出口管段；

所述第一支路包括第一进液管和第一回流管，所述第一进液管连通所述进口管段，所述第一回流管连通所述出口管段；

所述第二支路包括第二进液管和第二回流管，所述第二进液管连通所述进口管段，所述第二回流管连通所述出口管段；

所述第一进液管和所述第二进液管择一和所述进口管段导通，所述第一回流管和所述第二回流管择一和所述出口管段导通。

根据本实用新型的一个实施例，所述第一进液管设置有第一开关阀，以控制所述第一进液管和所述进口管段之间的通断；所述第一回流管设置有第二开关阀，以控制所述第一回流管和所述出口管段的通断；

所述第二进液管设置有第三开关阀，以控制所述第二进液管和所述进口管段之间的通断；所述第二回流管设置有第四开关阀，以控制所述第二回流管和所述出口管段的通断。

根据本实用新型的一个实施例，所述第一进液管和所述第一回流管之间通过第一旁通管连通，所述旁通管设置有第五开关阀，所述第二进液管和所述第二回流管之间通过第二旁通管连通，所述第二旁通管设置有第六开关阀。

根据本实用新型的一个实施例，所述进口管段设置有流量开关、压力传感器和第一温度传感器，所述出口管段设置有流量传感器和第二温度传感器。

根据本实用新型的一个实施例，还包括报警器，适于在所述流量开关监测到所述换热管路当中不存在换热介质时报警，或者，