[实用新型]一种光刻机工件台移动调整装置有效
| 申请号： | 202021867036.7 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN213023940U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 王群 | 申请（专利权）人： | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机工件台移动调整装置，包括工件箱，所述工件箱的内部放置有工件台，所述工件箱的内底壁设置有校准机构，所述工件台的下表面转动连接有若干个移动滚轮，所述工件箱的内底壁固定连接有与移动滚轮相适配的滚槽，所述工件台的两侧均设置有定位机构，所述工件台的背面固定连接有固定块。该光刻机工件台移动调整装置，通过固定块和固定销相配合，可以固定整个工件台的位置，使其在工作的过程中不易移动，通过同步驱动电机可以同步驱动移动滚轮，可以使移动滚轮沿着滚槽的方向移动，从而达到了移动滚轮可以带动整个工件台移动的效果，工件台移出后方便光刻机的维护与保养。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机工 移动 调整 装置 | ||
【主权项】：
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