[实用新型]一种光刻机工件台移动调整装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻机工件台移动调整装置，包括工件箱，所述工件箱的内部放置有工件台，所述工件箱的内底壁设置有校准机构，所述工件台的下表面转动连接有若干个移动滚轮，所述工件箱的内底壁固定连接有与移动滚轮相适配的滚槽，所述工件台的两侧均设置有定位机构，所述工件台的背面固定连接有固定块。该光刻机工件台移动调整装置，通过固定块和固定销相配合，可以固定整个工件台的位置，使其在工作的过程中不易移动，通过同步驱动电机可以同步驱动移动滚轮，可以使移动滚轮沿着滚槽的方向移动，从而达到了移动滚轮可以带动整个工件台移动的效果，工件台移出后方便光刻机的维护与保养。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，具体为一种光刻机工件台移动调整装置。

背景技术

光刻机是芯片制造的核心设备之一，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上。

随着技术的快速发展，对光刻机的精度要求也越来越高，光刻机的精度直接影响芯片的质量，因此光刻机工件台也随着技术的发展增加了很多机构，导致整个工件台的质量越来越重，尺寸也越来越大，当光刻机需要维护保养时，需要进光刻机内部的工件台移出，以方便光刻机内部的维护保养，但是由于体积较大和质量较重，使得工件台移动有很大的困难，且在维修过后，需要将工件台移动回原位，且位置要求精准度高，造成了工件台移动较为困难的现象，本实用新型提出了一种光刻机工件台移动调整装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机工件台移动调整装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻机工件台移动调整装置，包括工件箱，所述工件箱的内部放置有工件台，所述工件箱的内底壁设置有校准机构，所述工件台的下表面转动连接有若干个移动滚轮，所述工件箱的内底壁固定连接有与移动滚轮相适配的滚槽，所述工件台的两侧均设置有定位机构，所述工件台的背面固定连接有固定块，所述固定块的上表面开设有用于固定装置用的固定孔，所述工件箱的内侧壁内部设置有与固定块相适配的固定机构。

优选的，所述校准机构包括固定连接在工件箱内底壁的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的数量为四个，四个所述电动伸缩杆的顶端均固定连接有校准板，四个所述电动伸缩杆均匀分布在校准板的下表面四角，所述校准板的上表面固定连接有若干个校准杆，所述工件台的下表面开设有与校准杆相适配的校准孔。

优选的，若干个所述移动滚轮分两组等数量分布在工件台的两侧，且每组移动滚轮间距相同，所述滚槽的数量为两个。

优选的，所述定位机构包括设置在工件台侧面的定位销，所述工件箱的内侧壁固定连有定位板，所述定位板的侧面开设有与定位销相适配的定位孔，所述定位销远离定位板的一端设置有复位弹簧。

优选的，所述固定机构包括嵌设在工件箱侧壁内部的液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的顶端固定连接有固定销，所述固定销与固定块上表面开设的固定孔相适配。

优选的，若干个所述移动滚轮均设置有同步驱动电机，且若干个移动滚轮均与同步驱动电机的输出端固定连接，若干个所述移动滚轮的外表面均包裹有具有减振功能的橡胶保护套。

有益效果

本实用新型提供了一种光刻机工件台移动调整装置，具备以下有益效果：

1.该光刻机工件台移动调整装置，通过固定块和固定销相配合，可以固定整个工件台的位置，使其在工作的过程中不易移动，通过同步驱动电机可以同步驱动移动滚轮，可以使移动滚轮沿着滚槽的方向移动，从而达到了移动滚轮可以带动整个工件台移动的效果，工件台移出后方便光刻机的维护与保养。