[实用新型]一种运输陶瓷盘的装置有效
| 申请号: | 202021808128.8 | 申请日: | 2020-08-26 | 
| 公开(公告)号: | CN213385811U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 | 
| 发明(设计)人: | 安人龙;张森阳 | 申请(专利权)人: | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 
| 主分类号: | B65D85/44 | 分类号: | B65D85/44;B65D25/10;B65D81/05;B65D25/02 | 
| 代理公司: | 杭州融方专利代理事务所(普通合伙) 33266 | 代理人: | 沈相权 | 
| 地址: | 311201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 | 
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种运输陶瓷盘的装置,所属半导体硅片加工配套装置技术领域,包括搬运框架,所述的搬运框架内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴,所述的滚轮轴与搬运框架间设有与滚轮轴相活动式嵌套连接的轴承座,所述的搬运框架端面上设有安全锁杆组件,所述的安全锁杆组件下端设有与搬运框架相旋接的旋轴,所述的旋轴上、下端均设有与搬运框架呈一体化焊接固定的插销座,所述的插销座与旋轴间相销轴插嵌连接固定。具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 运输 陶瓷 装置 | ||
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