[实用新型]一种运输陶瓷盘的装置

说明书

本实用新型涉及一种运输陶瓷盘的装置，所属半导体硅片加工配套装置技术领域，包括搬运框架，所述的搬运框架内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴，所述的滚轮轴与搬运框架间设有与滚轮轴相活动式嵌套连接的轴承座，所述的搬运框架端面上设有安全锁杆组件，所述的安全锁杆组件下端设有与搬运框架相旋接的旋轴，所述的旋轴上、下端均设有与搬运框架呈一体化焊接固定的插销座，所述的插销座与旋轴间相销轴插嵌连接固定。具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。

技术领域

本实用新型涉及半导体硅片加工配套装置技术领域，具体涉及一种运输陶瓷盘的装置。

背景技术

硅片抛光后，用蜡把硅片贴在陶瓷盘上，陶瓷盘置于抛光机上，把硅片抛光成一定厚度和平坦度的工艺。

抛光是硅片加工过程中最后也是最重要的工序，这道工序对所有原辅材料的质量要求很高，其中，对陶瓷盘的粗糙度要求极高。

现有的陶瓷盘运输装置，棱角尖锐，陶瓷重量大（20kg），拿取过程中，容易造成磕碰，表面轻微的划伤或凹坑（1μm以上），便会影响品质，需要返回原厂修复，或者是报废；再者，现有装置没有安全锁，运输过程中有掉落的风险。

发明内容

本实用新型主要解决现有技术中存在容易造成磕碰和运输过程中易掉落的不足，提供了一种运输陶瓷盘的装置，其具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种运输陶瓷盘的装置，包括搬运框架，所述的搬运框架内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴，所述的滚轮轴与搬运框架间设有与滚轮轴相活动式嵌套连接的轴承座，所述的搬运框架端面上设有安全锁杆组件，所述的安全锁杆组件下端设有与搬运框架相旋接的旋轴，所述的旋轴上、下端均设有与搬运框架呈一体化焊接固定的插销座，所述的插销座与旋轴间相销轴插嵌连接固定。

作为优选，所述的安全锁杆组件包括防落杆，所述的防落杆与搬运框架上端间设有螺纹锁头，所述的螺纹锁头与防落杆间设有与螺纹锁头相螺纹式嵌套连接的锁紧锥螺纹套，所述的锁紧锥螺纹套与防落杆相限位嵌套连接。

作为优选，所述的防落杆与搬运框架上部间设有与防落杆相卡嵌式插接的固定卡扣。

作为优选，所述的搬运框架下端设有底座，所述的底座下端一侧设有一对万向轮，所述的底座下端另一侧设有一对与万向轮呈对称式分布的定向轮。

本实用新型能够达到如下效果：

本实用新型提供了一种运输陶瓷盘的装置，与现有技术相比较，具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型中的安全锁杆组件的结构示意图。

图中：搬运框架1，安全锁杆组件2，滚轮轴3，轴承座4，底座5，万向轮6，定向轮7，旋轴8，插销座9，固定卡扣10，防落杆11，锁紧锥螺纹套12，螺纹锁头13。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。