[实用新型]一种半导体检测用光学显微镜有效
| 申请号： | 202021805256.7 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN212845088U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 陈霞 | 申请（专利权）人： | 陈霞 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;G02B21/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511400 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 用光 显微镜 | ||
【主权项】：
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