[实用新型]一种半导体检测用光学显微镜

说明书

本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜，被检测的半导体属于较为精密的工件，在将工件夹紧时，所接触端不能够对工件造成损伤，从而将夹具处安装的压块设为橡胶接触面，实现保护工件的目的，同时夹具与压块之间为相互卡接且能够任意拆卸，使得夹具能够根据不同的情况安装不同形状的压块。

技术领域

本实用新型属于半导体检测技术领域，更具体地说，特别涉及一种半导体检测用光学显微镜。

背景技术

半导体，物质存在的形式多种多样，固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料，如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比，半导体材料的发现是最晚的，直到20世纪30年代，当材料的提纯技术改进以后，半导体的存在才真正被学术界认可。

申请号：CN201921620114.0的专利中，本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测。

基于上述，现有的半导体检测用显微镜整体在夹具位置处无法适用不同大小形状的半导体工件，且在观测半导体的某一处时无法进行角度上的调节，造成观测精度差的问题。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种半导体检测用光学显微镜，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种半导体检测用光学显微镜，以解决现有半导体检测用显微镜整体在夹具位置处无法适用不同大小形状的半导体工件，且在观测半导体的某一处时无法进行角度上的调节，造成观测精度差的问题。

本实用新型半导体检测用光学显微镜的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种半导体检测用光学显微镜，包括底座结构；所述底座结构的前端处安装有调节结构，且调节结构上设置有平衡结构；所述平衡结构上设有观测台结构；所述底座结构上处安装有防护结构；所述底座结构包括立柱，固定座，调节台，所述固定座中间位置设置有立柱，且立柱横截面为矩形形状，调节台直接套接在垂直的立柱上，调节台末端处套接有电子显微镜。

进一步的，所述调节结构包括连接板，丝杆，螺母块，所述连接板直接设置在固定座的前端处，且固定座与连接板接触位置转动安装有丝杆，丝杆的两端均设置有旋钮，连接板与固定座接触位置的中间处设置有螺母块，螺母块套接在丝杆上。

进一步的，所述平衡结构包括安装头，支撑柱，连接套，主支柱，所述主支柱安装在连接板的中间，且连接板与主支柱之间为焊接固定，主支柱顶部固定在连接套内，主支柱的外侧设置有四处安装头，且每处安装头上均铰接安装有支撑柱，支撑柱采用伸缩结构，且每处支撑柱的顶端均安装在连接套内，连接套套接处为球形形状。

进一步的，所述防护结构包括外罩，灯块，所述外罩直接安装在物镜处外部，外罩整体成半圆球形状，且外罩的内部设置有灯块。

进一步的，所述防护结构还包括有海绵垫，所述海绵垫设置在外罩的末端处，且外罩的内部涂抹有反光涂层。